高纯气体纯化装置
通过物理吸附脱除CO2、H2O 、H2 、O2、CO、N2、THC或通过化学吸附脱除O2、CO杂质，纯度可达7N以上。
气体类型：N2、Ar、He、H2、O2、CDA等。
流量范围：10~20000Nm3/h
压力范围：1.0Mpa
纯化技术：催化/吸附
再生方式：原位自动再生
气体类型：N2、Ar、He、H2、O2、CDA等。
流量范围：10~20000Nm3/h
压力范围：1.0Mpa
纯化技术：催化/吸附
再生方式：原位自动再生
